Dùng sóng siêu âm tần số cao để tách hỗn hợp nước và tinh dầu thành hạt sương siêu nhỏ.
Các hạt sương này lan tỏa ra không khí, giúp giữ ẩm nhẹ, tạo hương thơm dễ chịu mà không làm nóng tinh dầu (giữ nguyên đặc tính trị liệu của tinh dầu).
Khi nước bốc hơi, tinh dầu theo đó khuếch tán vào không khí.